高機能・電材事業部
半導体製造用資材 LCD基板搬送資材 PDP基板搬送資材 その他FDP関連商品 製造装置消耗部材 半導体製造装置 プラントフィルターシステム
その他FDP関連商品

排気システムのご紹介

1. エバラドライポンプシステム
 
  プロセスに最適なポンプ構成
省エネ・省CO2・省スペース


2. エバラ排ガス処理システム
 
  確実な排ガス除害(乾式・加熱酸化分解式・燃焼式・湿式)
安全性を追求したスペック


3. タイヨー生成物トラップフィルターシステム
 
  排気側生成物によるトラブルの解消
低圧損・長寿命を実現


4. ロータリーポンプ用オイルフィルタシステム
 
  ロータリーポンプのオイルトラブル解消
生成物及び酸の高効率除去


5. 対生成物配管シールド(セミコート)
 
  配管内生成物付着完全防止
配管内の耐食長寿命化

お問い合わせ先
東京本社 TEL:(03)5520-3000 FAX:(03)6234-3461