高機能・電材事業部
半導体製造用資材 LCD基板搬送資材 PDP基板搬送資材 その他FDP関連商品 製造装置消耗部材 半導体製造装置 プラントフィルターシステム
半導体製造装置


1.CMP装置
メーカー：荏原製作所
ウェハーの酸化膜・メタル膜を目的としたトータル研摩システム


2.銅メッキ装置（DMP）
メーカー：荏原製作所
デュアルダマシンCu配線に対応した装置構成
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3.キャリア洗浄装置
メーカー：荏原製作所
クリーンルーム対応、プロセスキャリアー及び搬送キャリアー専用自動洗浄機


4.オゾン水製造装置
メーカー：荏原製作所
高濃度O3発生を実現し、洗浄効率を飛躍的にUP.



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